爱发科进口泵保养维修-潽拓光电-增城爱发科进口泵

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    2024-2-20

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涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。

为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统。然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空系统,如果操作不当,很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空,---都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。




应用:当今,现代化的半导体行业中,越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜,表面分析仪器,残余气体分析仪及---质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外,在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。




因此,很近十几年来,涡轮分子泵,在国内、外都得到了---的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下,有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此,爱发科进口泵保养维护,针对这种现状,对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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分子真空泵是在 1911 年由德---盖德  首先发明的,并阐述了分子泵的抽气理论,分子泵,使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。      分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量,使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动,从而达到抽气的目的。




 通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子,并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此,人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。分子泵公司主要提供各品牌分子泵电源,爱发科进口泵保养维修,真空计,真空显示器,---气检测仪,质谱仪的维修、保养、销售等服务。分子泵分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。




这种泵具体可分为:   (1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。

 (2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

(3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。



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分子泵入口应装设防护网,爱发科进口泵保养要多少钱,以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。抽气系统装有单独粗抽管路的涡轮分子泵抽气系统的操作方法与扩散泵抽气系统相似。在开始粗抽以前,高真空阀和粗抽阀是关着的,而前级管道阀是打开的。首先关闭前级阀,启动粗抽泵(兼前级泵),增城爱发科进口泵,打开粗抽阀开始对真空室进行抽气。在真空室内的压力降到150~100pa时关闭粗抽阀,打开前级管道阀,再启动涡轮分子泵(需先接通冷却系统)。




如果分子泵入口处装有液氮冷阱,则应在泵加速到额定转速后(一般需5~10min)加注液氮。1-涡轮分子泵;2-液氮冷阱;3-放气阀;4-电离规;5-热传导规;6-粗抽阀;7-机械泵;8-前级管路阀;9-高真空阀。图1 典型涡轮分子泵抽气系统粗抽系统的配置随真空室的容积大小而有所不同。对500l/s或更小的涡轮分子泵来说,可采用一台双级旋片泵;1000l/s以上的涡轮分子泵则采用以机械泵为前级泵的罗茨泵机组。




在压力为100到150pa时关闭粗抽阀,把真空室切换到涡轮分子泵上。对某些泵,这样做会引起轻微而滞后的瞬时减速,但这对抽气并无影响。正如扩散泵抽气系统那样,涡轮分子泵系统中的很主要的物质是水蒸气,其臭气时间将受液氮冷阱抽速的支配。如果不用液氮冷阱,那么这个系统抽除水蒸气的速度就会比同样抽速的无冷阱扩散泵略慢一些。

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