广州潽拓光电科技有限公司--瑞士英福康真空计改造升级维修；

分子泵的原理由是利用气体分子和高速运动的转子互相碰撞而将气体分子带出系統外。气体分子碰撞到转子的表面反弹后，将会在其原來的热分子速度之外获得一部分与转子表面运动方向平行的额外速度。为了避免分子间的干扰而使运动速度下降，平均自由程的距离必须大于叶片之间的距离。因此，谱拓（）认为就需要一个前级泵连接在分子泵的上游以---分子泵内粒子密度足够的小。

inficon真空涡轮分子泵---的表现是因为：

***气体压缩高，气流量大

***前级压力高

***整体式驱动单元和冷却系统

***高抽速：10-2,000l/s

隔膜泵由传动部分和隔膜缸头两大部分组成。通过进气阀把气体引入腔室然后传递到出气阀排出气体。

在此应用条件下，泵的 很终压力可达70hpa，抽速 ---可接近10m3/h。

inficon真空隔膜泵的优势：

*** 干泵无油

***膜片

***震动低，噪音轻

***高稳定性

***易于维护

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inficon真空的校准泵组广泛应用于各种生产过程中，并提供---和高的真空度测量。

inficon真空校准泵组产品优势一览：

***比外部校准价格低

***符合国内和国际的标准

***便携式在线校准

***可多台设备同步校准

1)平均自由程是一个气体分子在连续两次碰撞之间可能通过的各段自由程的平均值。

什么是真空计校准装置？

众所周知，不同建设和工业生产的产品使用环境是不同的，比如载人航天器在太空、在高空、---在深海……这些产品的研制试验都离不开真空环境。真空环境条件模拟是否真实、---？就需要真空计发挥作用。然而，这些真空计测试数据否准确，就需要用我们的“尺子”——真空计校准装置来量一量，才能---真空计测量结果的准确---。

便携式真空计校准装置技术负责人介绍，真空计一般都是应用在真空环境模拟试验装置上，这些装置可都是“大家伙”，按照传统的计量校准方法，需要将上面使用的各类真空计拆下来送到实验室进行定期校准，不仅增加了拆装的工作量，运输过程中还存在损坏的风险。

电容-数字信号转换器原理图电路芯片利用ibm0.13umcmos技术制造，cmos电路板的尺寸为1950umx1850um，有效电路尺寸为263umx354um，采用2.5v电源供电，功率消耗约为0.69mw。在-20～225℃温度范围内，电路精度可达到2.4%，分辨率可达到1.44ff。

电容-数字信号转换器电路布局和芯片显微照片2.双侧电极微小电容测量敏感电容为双侧电极结构的inficon电容薄膜真空规管结构 ，敏感薄膜上的电极与上下硅基底上的电极构成了两个随真空度变化而变化的敏感电容。差动结构的敏感电容配合差动电路能准确感知薄膜的微小变化、减小寄生电容和耦合电容的影响、提高测量的共模抑制比，从而提高整个系统的分辨率，因此通常采用功耗低、易小型化集成的开关电容电路来构成差动测量电路。而随着inficon传感器的广泛应用，具有可调性、能满足不同设备需求的电路也比较受关注。

图5双侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图官设计了一种具有可调灵敏度的针对差动电容结构的inficon电容式传感器的信号测量电路。 电路包括传感器电容cx1、cx2，寄生电容cp，输入阻抗缓冲器r，前置可编程放大器，一个单位增益的反相放大器，相敏解调器，可调方波时钟发生器，低通滤波器（lpf），可编程输出放大器。可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。

依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制，可将具体的真空计分成三大类，分别是利用物理性能，利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。利用物理性能的真空计典型性的有波尔登规（bourdon）和薄膜电容规；利用汽体结构力学效用的典型性真空计有皮拉尼(pirani)电阻器规和电加热偶规；利用自由电子作用的典型性真空计有热阴极水解规和冷阴极电离规。

1、波尔登规（bourdon）2、薄膜电容规3、皮拉尼规4、热电阻规5、热阴极水解规6、冷阴极水解规

真空计原理、工作中特点及应用热偶真空计是运用热电阻的电势差与加温部件的温度相关，元器件的温度又与气体的导热相关的基本原理来准确测量真空值的真空计。热偶真空计原理热电阻真空计的结构如下图1所显示，气体分子结构担负的导热量与气体压强正相关是热电阻真空计的原理。

热电阻真空计的结构图金属材料圆桶内部结构配有一根灯丝，两边联接电级，插电后灯丝会发烫。灯丝的卡路里会根据气体分子结构撞击灯丝、辐射热和固态导热等方法被抢走。设单位时间内以以上三种方法抢走的---量各自为qg、qr、qs，则平衡状态下下列公式计算创立：式中q———单位时间灯丝释放的---量；r———灯丝的电阻器；i———灯丝的电流量。