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真空计校准装置如何实现“小尺子”发挥“大作用”？

回顾便携式真空计校准装置的研发历程，为了---校准装置的灵活使用，以实现在线校准的初心为牵引，真空事业部产品研发人员在前期技术积累基础上，开展集智攻关，突破了众多技术难关。为了满足不同空间、不同环境的灵活使用，要---“尺子”体积足够小、方便携带。

便携式真空计校准装置技术负责人介绍，真空计一般都是应用在真空环境模拟试验装置上，这些装置可都是“大家伙”，按照传统的计量校准方法，需要将上面使用的各类真空计拆下来送到实验室进行定期校准，不仅增加了拆装的工作量，运输过程中还存在损坏的风险。真空计频繁拆装成了影响试验生产进度的重要因素之一。

为了---真空计在各类产品的科研试验生产现场中的灵活计量，多年来，真空事业部研发人员在前期技术积累基础上，开展集智攻关，成功研制了便携式真空计校准装置。该装置解决了长期以来真空校准装置笨重无法携带到现场只能在实验室校准的技术难题，实现了真空计在线校准，---了试验生产任务持续有效进行。

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pid控制算法简单、鲁棒性好、---性高，在静电力反馈微传感器中应用广泛。pid控制器中的比例作用可以及时反映系统的误差信号，并减小系统偏差；积分作用可以消除稳态误差，实现对设定值的无静态---；微分作用可以---系统的响应速度和稳定性。通过正确地设置pid控制器的参数，就可以使其满足静电力平衡式inficon电容薄膜真空计的测量要求。

根据对inficon电容薄膜真空计的微电容测量方法的分析，可以看出，针对不同结构的敏感电容，存在不同的测量方法。单侧电极微电容测量法电路结构简单，易于实现，适用于敏感电容初值较大且电容变化量也较大的场合。在测量的过程中，可以引入一个电容值与敏感电容初值相等的参考电容来构成差分测量电路，从而在一定程度上消除寄生电容的影响，提高系统的线性度。

双侧电极微电容测量法适用于敏感电容为差动结构且初值及变化量都很小的场合，其电路通常包含开关电容电路以及时钟电路，这就使得电路结构比较复杂，但在双侧电极微电容测量法中，传感器与检测电路构成了双差动结构，从而能抑制测量过程中的噪声、减小寄生电容的影响，具有较高的电源抑制比及共模抑制比。

真空计的校准

现如今，真空在大家日常生活中被广泛运用于---商品的生产制造及制造，而且起着关键人物角色。例如：在科学研究，工业生产步骤，手机处理器，电脑硬盘，太阳能充电电池，塑胶干躁或是食品类真空包裝等行业。在如今的制造运动中，大家对真空度测量的性、规范化、稳定性和重复的标准是---重要的。在我们在开展测量的情况下，高精密又是重要中的关键：

精密度的大小会立即影响到设备的制造品质，科学试验的性和设施运用的稳定性。要---真空计应用时的---性高，就务必常常对它开展校准或校准。而依据每一个不一样运用的主要规定，这种校准工作中务必合乎或相应的国际性的规范。经济发展、合理、、化的组织校准及校准取代解决方法；生产制造运动中，真空计通常必须对外开放主管---开展校准和校准。

校准规定

在开展校准前，务必达到如下所示标准：

***系统软件限工作压力ρe务必超出不大校准工作压力ρmin的50倍

(ρe≤ρmin/50)

***工作温度务必稳定(±1°c)

***校准系统软件务必热平稳

***规范真空计和别的真空计在检测时真空度务必平稳

热偶真空计工作中特点热偶真空计是相对性真空计，其工作压力-热偶电势差相匹配值无法用计算方式准确求取，因而，经常在规范自然环境情况下，用肯定真空计或用校正系统软件经校正明确。在一定的加温电流量情况下，适用dl-3型规管的热偶真空计对干躁气体的校准曲线如下图4-9和图4-10所显示。

dl-3型热偶真空计的校准曲线(10～10-1pa)图4-10dl-3型热偶真空计的校准曲线(102～10pa)由图4-10可以看出，当工作压力从0.1mpa逐渐逐步减少(图上未画出)的一段工作压力区域内，热偶电势差e一直在零值周边，其---原因是气体分子结构多，传输走的卡路里多，因此热丝温度低，热偶电势差e亦低，并且这时(λ≤r1)导热与工作压力不相干，故热偶电势差e不转变(小量转变是气体热对流造成的)。

当气体压力至102pa时，热偶电势差e逐渐扩大，这也是因为这时气体传输走的---量降低，热丝温度已上升。当工作压力p再次下降时，热偶电势差再次扩大，可是愈来愈迟缓，很后趋向一定值。自此，p再减少，e---转变，即热偶真空计已做到其准确测量限，这一限为其准确测量低值，约为10-1pa。为了---地应用上的便捷，通常依照p—e校准曲线将微伏计的标尺改为真空值。用那样标尺的真空计准确测量时，可立即读取真空值，从此不用依据测定的p-e校准曲线查被测真空值。