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它的特点主要有： 1、泵腔内有可旋转的转子，转子的四周带有沟槽并用挡板隔开。每一个沟槽就相当于一个单级分子真空泵，后一级的入口与---级的出口相连。 2、转子与泵壳之间有 的间隙，气体分子由入口进入泵腔，被转子携带到出口侧，经排气管道由前级泵抽走。 3、分子真空泵的优点是起动时间短，在分子流态下有---的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，---适于抽除较重的气体。 

它的不足：抽速小，密封间隙太小，工作---性较差，易出机械故障等，因此除特殊需要外，实际上很少应用。曾一度被结构和制造简单，抽速大的扩散泵所代替。分子泵报价, 涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵，这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。

立式涡轮分子泵，泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大，通常在 lmm 左右，因此泵工作时很安全。接下来主要介绍这两种涡轮分子泵特点： 1、清洁，无油蒸汽返流； 2、使用方便； 3气体输送能力强； 4、适于真空应用； 5、高压力下性能---； 6、循环的时间短；； 7、正常使用时间长； 8、设备费用高；9、对颗粒物或沉积物敏感； 10、噪音与振动； 11、破碎问题； 12、暴露---易引起事故；

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没有单设粗抽管路的涡轮分子泵系统的操作：先打开分子泵冷却系统和前级管路阀，并同时启动前级（粗抽）机械泵和涡轮分子泵。如果粗抽泵（前级泵）选择得当，使真空室的粗抽时间等于分子泵的加速（启动）时间，则真空系统就能在没有泵油蒸汽返流的情况下把真空室抽到其本底压力。

该系统在停机前，要先关闭前级管路阀，然后切断分子泵电源和关闭冷却水。等分子泵转速下降到额定工作转速的一半时，再在泵的入口处充入干燥气体，当系统充到---压力后，应关闭放气阀门。根据需要在前级阀关闭后的任何时候停掉前级泵系统。

涡轮分子泵应用于脉冲激光沉积系统pld涡轮分子泵应用于脉冲激光沉积系统pld

脉冲激光沉积pulsedlaserdeition,pld,是一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,得到沉淀或者薄膜的一种手段.pld系统由多个真空腔体组成,整个系统需要真空且不能引入任何杂质,对环境的清洁度要求较高,必须配备无油干泵和分子泵抽真空.由于各个辅助腔体体积较小,因此---适合使用hicube系列分子泵组.分子泵组因其结构紧凑体积小,清洁无油（前级泵配备干泵),抽速快,---真空度---10-11mbar等优点广泛应用于此设备.

磁场屏蔽出现的问题

旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子---，将产生如下问题：、转子与定子间隙越来越小，造成碎片；、转子温升过大造成磁性电机转子退磁；、由于---会减弱铝材料的强度，造成碎泵；、转子---，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30gs。原则上，大于30gs应使用导磁材料屏蔽。

分子泵启动的条件：、启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度、启动时间：同时启动——小系统，防前级泵油上返。---启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强p=200pa时，启动分子泵。从逆扩散型检漏仪的检漏过程出发，通过实验讨论分子泵转速对---质谱检漏仪检测结果的影响，并分析产生这种结果的原因。

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵是获得高真空和真空的关键设备之一。它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短,在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变,对分子量高的气体压缩比高,可以获得清洁无油的高真空和真空环境。

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用于---质谱检漏仪的分子泵的多为抽速60l/s左右的小型泵,对---气的压缩比在1000左右。分子泵的抽速与动叶轮的转速有关，只有动叶轮的切向速度与气体分子的热运动速度相当时才有抽气能力,且抽速随转速而增,所以抽速在50~150l/s之间的小型分子泵的转速通常达到90000~40000转/分。分子泵的另一性能指标是,压缩比，所谓压缩比是指分子泵的排气口压力与进气口压力之比,压缩比于转速及分子量的关系是:

kcxexp[gxu(m)17]式中:g为与叶轮几何形状有关的常数;u为叶轮转速;m为气体的分子量。可见分子量大的气体压缩比大。---质谱检漏仪中,逆扩散检漏正是利用分子泵对小分子量---气的低压缩比，而且，还通过降低叶轮转速，降低对he的压缩比,从而提高对---气的响应灵敏度。

改变---质谱检漏仪的分子泵的转速,分子泵的压缩比会发生变化,分子泵的转速由1500hz改变为1000hz,分子泵的压缩比会变小，进入质谱室的---分压增加，检漏仪检测到---信号会变大，试验中,检漏仪在1000hz下的信号是1500hz信号的3.5倍，也就是说分子泵在1500hz的压缩比;是1000hz的3.5倍。