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发布单位:广州潽拓光电科技有限公司  发布时间:2022-6-24












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大阪真空涡轮分子泵越来越多地用于现代半导体工业。 溅射、蚀刻、蒸发、注入、分子束外延和离子处理等设备都需要在真空环境中运行。 近十年来,---涡轮分子泵得到了显着的改进和发展。 在涡轮分子泵的应用日益增多的情况下,干式前级泵并没有得到广泛的推广和应用,有时不得不使用油封机械泵作为涡轮分子泵的前级泵。 因此,针对这种情况,涡轮分子泵的合理选择和正确运行显得非常重要。




大阪涡轮(复合)分子泵

用 途***小型实验设备的排气***装载室,搬送式排气***分析?测量仪器的排气***吸附?搬送***的排气***封装排气***电子,离子源的排气***干燥***溅射蒸镀等pvd设备排气***小型炉排气***分子泵等高真空泵的辅助泵








品牌大阪真空osakavacuum,其他型号tg50f压力200(mpa)材质铝合金泵轴位置卧式叶轮吸入方式单吸式驱动方式电磁性能真空分子泵,耐腐蚀,其他用途真空分子泵,其他原理齿轮泵输送介质清水泵适用范围多行业可用流量60(m3/h)扬程90(m)叶轮结构左右




品牌大阪真空osakavacuum使用保养方法

1、真空泵在运行过程中的保养方法,真空泵轴承温度不得高于环境温度35℃。

2、寒冬季节真空泵保养方法,使用时要注意防冻,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。

3、当真空泵需停止使用时,要先关闭闸阀、压力表,然后停止电机,以减少突然断电对部的损害。

4、真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管。

5、当真空泵重新装配后应进行试运行,一般须空运转2小时并换油二次,因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物,待运转正常后,再投入正常工作。






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