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分子泵是---质谱检漏仪中获得高真空重要部,是---质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着---质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对---质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50pa,远达不到高压检漏的要求。

1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压---已达2000pa。这种泵用作---质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500pa,v1开，氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室，实现仪器的逆扩散检漏。

若能进一步将试件抽至200pa以下，则v2关闭，v3打开，从泵的中间口逆扩散至质谱室，若能进一步将试件抽至40pa以下，则v3关闭，v4打开，---气从泵的上部逆扩散进入质谱室，或直接进入质谱室(常规检漏）。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程，一气呵成，不仅，也便于漏率的定量，由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的，仪器只需1次校准即可。

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“该系列涡轮分子泵具有理想的尺寸功率比。350和450是300至700l/s吸力级别中结构紧凑的大功率涡轮分子泵，针对小分子气体具有的抽吸能力。”真空涡轮分子泵产品经理说道。内置的驱动电子设备在不增加体积尺寸的情况下，提供了包括profinet和ethercat在内的大量通讯接口。通过遥控和传感器元件可以对泵数据进行分析，实现在运行过程中进行理想的工艺监控。

它的运行噪音低，气体流量大，为真空行业树立了新的标准。该系列的各款泵均已获得semis2、ul、csa和nema12。此外，该系列各款泵均可以在客户现场进行轴承维护和轴承更换，并且均可免维护运行4年。磁场环境对分子泵运行的影响:许多设备在工作时都会产生磁场，比如，家用电冰箱的磁场强度约有10高斯（1mt），mri（）的磁场强度甚至会---3t；

尽管可以采取屏蔽等措施，仍然可能会有外漏的杂散磁场，对工作在附近的分子泵产生不好的影响。磁场对涡轮分子泵的可能影响当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时，会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转，并导---机的功率增大。由于泵转子不与定子接触，涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此，转子可能会过热，即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。

噪音测试通过在以下12种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试，来验证泵噪音：垂直、水平和翻转位置；高温和低温；全速和低速。在正常运行状态下，168次测量得到的平均噪音为41db(a)+/-3σ。包装测试通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能，在测试时，使带包装的泵从96厘米/37.8英寸的高度以各种角度跌落18次。---在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。

无论从科技或是经济发展的角度来看，重要性都是---的。5g、---、大数据、物联网等新兴技术的发展源源不断地给半导体行业注入崭新活力。真空技术作为一门与应用科学紧密结合的现代基础科学，在半导体行业有着广泛的应用。其中，分子泵作为很多半导体制造设备的零部件之一，广泛应用于ic生产制造的各个工艺。

下面小编就带您走进半导体产业链，并一起探索分子泵在半导体行业的应用。半导体产业链包括上游的半导体支撑产业，中游的半导体制造产业以及下游的半导体应用产业。半导体支撑产业包括半导体材料及设备，其中真空产品主要在半导体设备领域应用；中游半导体制造的是集成电路制造，包括ic设计、ic制造以及ic封测；下游的半导体应用领域众多，半导体应用领域的行业是通信及智能手机、pc/平板、工业/。