pfeiffer分子泵维修-潽拓光电

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    2020-9-1

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涡轮分子泵工作原理

   包括转子和定子叶片排列的泵送作用是基于将脉冲从快速旋 转的叶片传输给被泵送的气体分子。6、当环境温度低于5℃时,应将泵油放出加热到15-30℃后加入泵内启动工作。与叶片碰撞的分子被吸 附在叶片上,然后在一段时间后再次离开叶片。在该过程 中,叶片速度被加到热分子速度上。为---由叶片传输的速 度成分不因与其他分子碰撞而损失,分子流必须在泵中占主 导---,即:平均自由程必须大于叶片间距。









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