leybold进口分子泵-广东潽拓光电

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    2020-11-29

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真空泵油积碳,发黑,像油泥一样,所以在排气口处出现冒油烟。出现这种情况时,要把真空泵油更换掉,将泵从系统上拆下,用干净的方盘接在放油孔下。旋油塞和放油塞,放出污油。断续启动电机,使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油 200~300cc 。断续启动电动机,再次清洗各真空室。这样经 2~3 次重复清洗,放光清洗用油,旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置,旋紧注油塞不使漏气。

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