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广州潽拓光电科技有限公司——广州agilent分子泵升级

目前，国内气冷式直排---罗茨泵进展很快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得平衡，所以这种泵可以直排---。为了满足不同---真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排---罗茨泵，所达到的---真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排---罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。

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体安装注意事项

　　、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。

　　、打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。

　　、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。

　　、确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。

　　、确认已装入润滑油。

　　、安装方向：油绳润滑：竖直、水平；

　　 油润滑：竖直方向±5°范围内；

　　 脂润滑：任意角度

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改进的转子结构

twistorr 305 q 系列分子泵拥有的转子结构：比其他 305 分子泵增加了一级涡轮叶片，并采用了与其他 305 分子泵不同的 macrotorr 牵引级。macrotorr 牵引级是专为---载而设计的，它拥有更宽大的气体通道，解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时---集中的问题，可以承受持续的---体流量，并可将前级耐压提高至 16 mbar。

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国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，---提高了产品的性能和。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。---压力从10pa~10-2pa，抽速从20m3/h~500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。

　　干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、、食品等范围广泛的行业，市场上超过50%的产品是进口品牌，尤其在半导体行业中，绝大多数的真空泵均为国外品牌，国产真空泵主要应用于化工等行业。