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▲dl-10a谐振阻抗测量电路
近似地谐振阻抗z为:z=r×vae/vde。其中vae是ae两点间的电压,vde是de两点间的电压。测量了阻抗,由阻抗与气体压强的关系曲线,便可知道气体的压强。例如,dl-10a型石英真空计采用fc135晶振做传感器,其阻抗与压强的关系如下所示:▲fc135晶振谐振阻抗与压强的关系
图中纵坐标△z是谐振阻抗z与固有阻抗z0之差。固有阻抗是压强远小于下限即小于10-3pa的阻抗。横坐标是压强,由图可见,在压强小于100pa,inficon真空计控制器升级,△z与p近似成线---。在104-105pa之间,△z与p的开方成正比。我们将上述曲线存在单片机中,测量△z值,由数码管显示对应的压强值,这就是石英真空计的工作原理。
dl-10a设置一个零点调节按键,当压强小于10-3pa时,按一下该按键,单片机执行中断程序,将此时的z值存在单片机的eeprom中。dl-10a还设置一个---调节按键,当传感器暴露在---时,按一下该按键,单片机执行另一中断程序,将此时的z值存在单片机的另一eeprom中。当仪器长时间不用或环境温度变化较大时,应进行零点调节及---调节。
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inficon电容器塑料薄膜真空计规定准确测量电源电路功能损耗低、易集成化,充分考虑分布电容和干扰信号及温度的危害,准确准确测量inficon电容器塑料薄膜真空泵规管的细微电容器是一个难点。感压塑料薄膜上的电级各自与固定不动电级、参照电级组成比较敏感电容器和参照电容器,伺服驱动器电级坐落于感压塑料薄膜下边,根据增加静电力使感压塑料薄膜在准确测量真空值的历程中处在一个明确的部位,进而完成宽标准的动态性压力测量。
inficon感应器具备微型化、成本低、性能、易与cmos电子器件兼容等特性。在差异种类的inficon感应器中,很广泛、运用很普遍的是压阻式和电容式传感器。与压阻式感应器对比,电容式传感器具备敏感度高、温度指数低、功能损耗劣等优势。inficon电容器塑料薄膜真空计做为inficon电容式传感器的一种,可以达到深空探测、流体力学科学研究、临近空间探寻等方面对真空测量仪器测量准确度高、体型小、品质轻、功能损耗低的使用要求,具备普遍的应用前景。
inficon电容器塑料薄膜真空计包括真空泵规管和检测电源电路2个一部分。在其中,真空泵规管将真空值转换成容量,准确测量电源电路对容量开展解决获得真空值的值。inficon电容器塑料薄膜真空泵规管原始容量的标准为几到几十皮法,其电容器变化量为几飞法乃至更小。inficon电容器塑料薄膜真空泵规管的比较敏感电容器具备不一样构造,包含一侧电级构造、双侧电级构造及其静电力均衡构造,不一样构造的比较敏感电容器其电容变化量不一样。
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由于许多真空应用仅可在一定的压力范围内进行,所以能够准确且---测量总压在实际应用中十分重要。系列有效测量并控制真空系统中的总压,全新添加的数字式信号输出功能,可以让其实现---且的数据传输。与模拟测量方法相比,能够无损无误地传递用于过程控制和记录的测量数据,得到准确的结果。
系列产品配备m12插接头,使该真空计即使在严苛工艺环境中也可使用。真空规还可与hipace@涡轮分子泵和inficon真空其他产品一起在通信网络中运行。在配件方面,现已有profibus-dp、devicenet或带两个开关点和一个lcd显示器的附加模拟输出设备可供选择
为应对不断变化的市场需求,该系列 很近新增了更多选配件。
此前,该系列真空规仅配备rs-485接口,而现在,还配有工业以太网接口profinet和ethercat。与传统现场总线相比,它们具有数据传输速率---、接入设备---更多的优点,因而能够帮助企业加速实现工业4.0目标。profinet和ethercat接口此外,除了此前采用模拟输出的版本,现还配有电容式真空规cct。该真空计拥有不受气体种类影响和测量精度高的优势,并可用于镀膜过程的准确过程控制、冷冻干燥或校准实验室。
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