ulvac分子泵维修养护-广州潽拓光电公司

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给出不单独设置粗抽管道、不设置高真空阀门的涡轮分子泵抽气系统，这个系统的真空室是直接通过涡轮分子泵进行粗抽的。因为系统上没有粗抽管道，所以就不存在因粗抽管道而带来的污染和切换区域不适当等问题。从结构上看，系统也变得更简单了。它没有粗抽阀、管道和冷阱，也不需要高真空阀，只需要一个电离规和一个热传导规。

每当打开真空室暴露---时，就必须把整个系统停机，而后再重新启动。这就使得液氮冷却表面使用起来不方便，因为每当系统停机时，必须将冷却表面升温。1-检漏接口阀；2-涡轮分子泵；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-真空管路阀；7-电磁放气阀；8-机械泵。图2  不用阀门的涡轮分子泵抽气系统同时，启动涡轮分子泵和机械泵，通过涡轮分子泵进行粗抽，必须正确选配前级机械泵。

如果机械泵的抽速小，它是不能在涡轮分子泵达到很大转速以前把真空室抽到过渡区的。当出现这种情况时，电动机的过流保护电路就会把涡轮分子泵关掉。抽速大小合适、运转适当的机械真空泵应该是在涡轮分子泵达到其额定转速的75%左右时就能把真空室抽到20~200pa，这样也可防止机械泵油的返流。大多数涡轮分子泵所设计的启动加速时间为5~10min。

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分流式分子泵应用于---质检漏仪

涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快，有机蒸汽污染少和---真空---特点.因此在---质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统，即使检漏仪不用液氮冷阱，质谱室也不致---沾污，并能保持较低的本底或杂声.这有利于---质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高，并且延长离子源的使用寿命.代理德国分流式分子泵splitflow独立机械和真空结构设计，广泛应用于国内，国际

爱发科---质谱检漏仪生厂商.分流式分子泵客户案例:某国内爱发科检漏仪生产商，选用德国splitflow80分子泵集成于---质谱检漏仪中.

分流式涡轮分子泵splitflow优点

紧凑设计，占地空间小

对所有气体的高抽吸能力和---压缩比

集成分子泵控制器

防护类型ip54适合于工业用途

准s2和ul/csa

运行数据监控---分子泵运行安全性

涡轮分子泵应用于真空互联装置涡轮分子泵应用于真空互联装置

真空互联系统一般是通过rdc传样装置将不同的真空腔体连接起来，例如:快速进样室，样品生长腔，衬---备腔，电子结构分析腔等，传样过程中---真空量级的真空增量，真空互联系统很多可以连接8个腔体左右，---真空好于1e-10mbar！

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