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实验与分析---质谱检漏仪工作在不同的分子泵转速下，在仪器的检漏口连接标漏信号，检测---质谱检漏仪在不同分子泵转速下，所获得的信号值。

实验器材：

(1)---质谱检漏仪sfj-231，1台；

(2)渗---型标准漏孔（3.0×10-10pa.m3/s)，1只；

(3)渗---型标准漏孔（1.5×10-pa.m/s)，爱发科二手泵维修服务，1只；

(4)标准漏孔tl4-6，1只。

实验步骤：

(1)开启---质谱检漏仪；

(2)仪器进入检漏状态运行2h后；

(3)仪器按下停止键，仪器进入待机状态(4)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500hz；

(5)待仪器进入待机状态

(6)将渗---型标准漏孔(3.0×100pa.mys)连接在检漏口；

(7)检漏仪按开始键，检测仪器的显示值，并记录；

(8)仪器按下停止键后按下开始键，再次检测仪器的显示值，共记录3次数据(9)仪器在待机状态，进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1000hz；

(10)重复7、8步骤；

(11)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500hz；

(12)在仪器检漏口连接渗---型标准漏孔(1.5x10*pa.ms)1只；

(13)重复7、8、9、10步骤(14)进入仪器的参数设置，将分子泵的转速设定为1500hz；

(15)在仪器检漏口连接标准漏孔tl4-6(16)重复7、8、9、10步骤。

(16)重复7、8、9、10步骤。

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涡轮分子泵的工作原理，结构型式及其优缺点。

为了利用涡轮分子泵，获得清洁真空，国外多利用干式机械泵作其前级泵，构成无油的真空系统。然而，目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵，构成了有油真空系统，如果操作不当，很难避免油蒸汽返流，爱发科二手泵cryo-u12h，对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空，---都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。

应用：当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及---质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。

因此，番禺区爱发科二手泵，很近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都得到了---的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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