汕头英福康真空计维修多少钱来电洽谈

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▲dl-10a谐振阻抗测量电路

近似地谐振阻抗z为：z=r×vae/vde。其中vae是ae两点间的电压，vde是de两点间的电压。测量了阻抗，由阻抗与气体压强的关系曲线，便可知道气体的压强。例如，dl-10a型石英真空计采用fc135晶振做传感器，其阻抗与压强的关系如下所示：▲fc135晶振谐振阻抗与压强的关系

图中纵坐标△z是谐振阻抗z与固有阻抗z0之差。固有阻抗是压强远小于下限即小于10-3pa的阻抗。横坐标是压强，由图可见，在压强小于100pa，△z与p近似成线---。在104-105pa之间，△z与p的开方成正比。我们将上述曲线存在单片机中，测量△z值，由数码管显示对应的压强值，这就是石英真空计的工作原理。

dl-10a设置一个零点调节按键，当压强小于10-3pa时，按一下该按键，单片机执行中断程序，将此时的z值存在单片机的eeprom中。dl-10a还设置一个---调节按键，当传感器暴露在---时，按一下该按键，单片机执行另一中断程序，将此时的z值存在单片机的另一eeprom中。当仪器长时间不用或环境温度变化较大时，应进行零点调节及---调节。

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单侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图郭占社等提出了基于峰值检测的微电容测量法，该方法可用于检测inficon设备上的单一电容变化量。电路采用实时峰值检测技术，只检测待测电容的变化量。 首先正弦载波信号及微分电路对inficon器件输出的电容量进行载波调制，然后通过减法电路得到幅值与电容变化量成比例的正弦信号， 很后用峰值检测方法对信号进行解调，得到直流输出。测试结果表明，该测量电路具有---的线性，测量精度可以达到2%，灵敏度可以达到3.6v/pf。但该电路不易于小型化集成。

图2基于峰值检测的微电容测量电路框图wang等设计了一种具有宽温度范围的基于cmos的微电容测量电路。 电路采用相关双采样方法，vref为输入参考电压，时钟信号φ1、φ2通过控制开关控制电容的充放电从而完成对敏感电容的测量。保持电容ch1、ch2用来存储和消除低频噪声及运算放大器的偏置电压。

电路采用结构简单、性能稳定的二阶σ-δ调制器来实现高的分辨率，其中电容c3=2c4。测量过程分为两个阶段，当信号cal置“0”时，电路处于正常工作状态，输出为y；当信号cal置“1”时，电路处于校准状态，c1和c2位置互换，此时输出为y′。两种状态下的输出信号都包含由时钟反馈回路、电荷注入效应、开关漏电流等产生的噪声，两者相减即可消除这些噪声。

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