爱发科二手泵heliot711-茂名爱发科二手泵-潽拓光电

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脉冲激光沉积系统pld客户案例：某大学电信系脉冲激光沉积系统

1.系统功能：主要用于mn氧化物等复杂材料膜。

2.涡轮分子泵真空度要求:真空度

3.样品尺寸:6英寸

4.基片旋转，加热温度：750℃

5.膜生长控制模式:镀率/厚度/时间控制模式

真空系统配置:真空系统配置:涡轮分子泵400

接口:dn100cf-f

---真空:

氮气压缩比:>;1x1011涡轮分子泵80

接口:dn63cf-f

---真空:

氮气压缩比:>;1x1011隔膜泵mvp040

口径:g1/4”

---真空:≦5mbar

抽速:2.3m3/h

涡轮分子泵抽速范围10至2700l/s，转速---90，000rpm，---真空很大1e-11mbar，对小分子气体具有更高的压缩比，实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100，爱发科二手泵变频器，000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用，搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>;>;

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在高真空抽气过程的起始阶段，泵的很大的未经烘烤的内表面会吸附水，然后再在较低的压力下重新释放出来。这种效应在无阀门的系统中更为明显，爱发科二手泵heliot711，因为它可能比未暴露在压力高于150pa的空气环境的有阀门的系统吸附更多的水蒸气。系统停机时，先关闭高真空阀，如果有液氮冷阱的话，还要将冷阱加热。在冷阱达到平衡温度后，茂名爱发科二手泵，关掉前级管道阀，再切断涡轮分子泵电动机的电源，使分子泵的转子减速。

一般来说，泵转子完全停止需要十分钟或更长的时间。在分子泵转子减速期间，来自前级管道的碳氢化合物和涡轮分子泵的润滑油蒸气会迅速地向泵的进气口上方区域扩散。为了防止机械泵油蒸气和涡轮分子泵润滑油蒸气的返流，在切断涡轮分子泵电动机的电源后，要用一股干燥的反向气流对分子泵进行放气。

例如，应该在泵转子速度下降到很大转速的50%左右时，在泵进气口上方的某处或在转子组件上部连续充入气或氮气，直到泵内压力达到---压。通过从阀门3（见图1）充入气体就可适当地完成这一操作。当涡轮分子泵以额定速度运转时，不应经常充入压力为---压的气流。这样做对轴的寿命是不利的。当前级管道阀关闭后，即可关掉机械泵系统，并用放气阀对机械泵内进行放气。停机后应立即关掉冷却水以防止内部冷凝。在正常工作时，可把水温调节到略高于来消除泵体外部可能形成的冷凝物。

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