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真空互联装置需要在真空环境中进行,对真空度要求及其高,真空可达1e-10mbar,一般需要用前级泵,分子泵,离子泵,钛泵等组合使用来达到要求,涡轮分子泵需要低振动,低噪音,清洁无油---真空的稳定性以---晶格的生长和后期的探测分析.德国涡轮分子泵80,700,1200广泛应用于真空互联装置中!
真空互联系统会以arpes,stm,mbe,ups,xps的联用为主.下图为某研发生产各类高真空系统客户实例图:1.arpes角分辨光电子能谱,利用光电效应研究固体的电子结构,当一束光照射在样品表面,当入射光频率高于特定阈值(功函数)时,表面附近的电子会脱离样品,成为自由电子,这就是光电效应.光电子在真空飞行的过程中,被一个接受角度很小的能量分析器收集计数.
某光源arpes光束线真空系统,真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分,只有在真空环境中运行,光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站,真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度,---光束线的稳定运行.此系统搭配爱发科分子泵80,及配套真空规。
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当时现行标准的分子泵不能直接用到圆排机上,因为圆排机的工况,工作过程中灯管不可避免地会产生漏气和破损而产生的压力高、---流的冲击和碎屑等的情况。鉴于此,由公司专项研制高压强分子泵,由上海涌真机械有限公司实施圆排车制造替换谱拓泵,把公司研制的分子泵应用在上海正贝照明制造的圆排车上,进行的替代设计制造。
此后,公司成功研制出ff-160/500g分子泵,其技术参数详见表1。表1 ff-160/500g复合分子泵技术参数替换方案此前圆排机上的两套分别为:一台zjp150谱拓泵和trp-16一台真空泵和凯尼zj150谱拓泵和爱发科vd401真空泵的谱拓真空组。左:普通分子泵;右:高压强分子泵替换方案为:一套由一台kyky公司的ff160/500g分子泵,前级为北仪优成的trp-60或trp-48真空泵,过渡真空室、接管、真空测量系统组成的机组(简称分子泵机组)。
现一台分子泵机组拖7工位,可增至10个工位。原两台拖7工位。表2 工作监控情况及对比数据表实际效果对比分析分子泵机组比抽气速率大,ulvac高真空分子泵保养公司,真空度高近一个数量级。而且相较而言,分子泵机组的噪音更小,占地面积更小。在运转费用方面,按一年280天计算,每天24h,全年就是6720h。单位:元
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为了确认磁场对分子泵工作的影响,德国卡尔斯鲁厄理工学院()设计并执行了下面的测试:测试条件和装置被测分子泵的型号为twistorr304fscff6,使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却;分子泵的控制器会自动调整电机电流,保持转子以恒定转速运行。
使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的pt100热电阻测量定子的温度。测试过程试验期间,涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为1mt,泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行12个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为2mt,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到7mt。
当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为7mt时,平衡温度上升到100摄氏度左右(分子泵的很大允许温度为120度)。
另外,使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低(5mt时,低大约40度)。
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