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一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗真空泵整个泵 腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用qi油清洗，shimadzu进口真空泵配件厂家，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。
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涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001pa、0.00001pa，但在---状态下，可以通过它实现 0.00000001pa（---压的十万亿分之一）的真空。
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