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shimadzu tmp-3304lm tmp-3304lmc分子泵进气法兰口vg350/vg300/iso320b，出气法兰口kf40，抽速可达到3200 l/s，转速为27600 rpm，日本岛津磁悬浮tmp-3304lmc分子泵自带集成控制器
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