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五轴磁悬浮分子泵分子泵维修,请务必确认维修厂家有无如下设备及备件: ---质谱检漏仪:是用来测试分子泵有无渗漏的,shimadzu分子泵---真空,五轴磁悬浮分子泵维修后,因真空密封及接口较多,很容易有轻微渗漏而导致您镀膜线腔体中真空度差,又直接导致镀膜差。
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一般的检漏仪只能设置大于某一漏率的报警值。因此在系统检漏时,当分流比过大却没有设置相应的分流比,或者当检漏阀门关闭或堵塞时,就有可能错过泄漏。
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一般来讲,如果说前级泵没有问题,而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气(排除其它的漏气)、或着解吸附作用降低,东沙群岛shimadzu分子泵,说明真空泵有点脏了,shimadzu分子泵关机,需要进行清洗,这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗,如果太脏的话,就必须进行拆卸清理了
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