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滑阀式真空泵市场

　　---各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的---性。

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦turbo-v 2300服务公司维修问题

分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？

　　答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要仪器和特定的测试环境

分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？

　　答：注意水温和水流量，冷却---会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是佳方式？

　　答：电源本身有接地线，只需要---市网有---接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“poff”？

　　答：原因：电压低

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改进的转子结构

twistorr 305 q 系列分子泵拥有的转子结构：比其他 305 分子泵增加了一级涡轮叶片，并采用了与其他 305 分子泵不同的 macrotorr 牵引级。macrotorr 牵引级是专为---载而设计的，它拥有更宽大的气体通道，解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时---集中的问题，可以承受持续的---体流量，并可将前级耐压提高至 16 mbar。

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国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，---提高了产品的性能和。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。---压力从10pa~10-2pa，抽速从20m3/h~500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。

　　干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、、食品等范围广泛的行业，市场上超过50%的产品是进口品牌，尤其在半导体行业中，绝大多数的真空泵均为国外品牌，国产真空泵主要应用于化工等行业。