安捷伦分子泵控制器电流-中山安捷伦-潽拓光电

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    2023-9-2

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性能指标h2 压缩比1.5 x 106前级管道法兰尺寸kf 16 nw前级耐压 — n212 mbar启动时间< 3 min噪音水平41 db(a)工作位置any建议采用的前级泵容量7 m3/h抽速 — ar250 l/s抽速 — h2220 l/s抽速 — he255 l/s抽速 — n2250 l/s气体通量 — n2、水冷250 sccm---真空<1 x 10-10 mbar标准和en 61010-1

en 61326-1

en 1012-2

en 12100

en 50581

机械指令 2006/42/ec

电磁兼容性指令 2014/30/

eu 指令 2011/65/eu法兰类型dn 100dn 160贮存环境温度-40 至 +70 °c运行环境温度+5 to +35 °c重量5.84 kg额定转速60 krpm





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为了确认磁场对分子泵工作的影响,德国卡尔斯鲁厄理工学院(kit)设计并执行了下面的测试:

测试条件和装置

被测分子泵的型号为 twistorr304 fs cff6,使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。

被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级,安捷伦分子泵控制器价格,分子泵的进气口压力抽至 1e-3 mbar 以下(该压力以下,热对流几乎为零,分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分)。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却;分子泵的控制器会自动调整电机电流,保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 pt100 热电阻测量定子的温度。






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安捷伦扩散泵特点维护简单,皮实---不爱坏扩散泵内部没有活动部件,与机械式真空泵的磨损失效不同,中山安捷伦,其工作失效的原因主要有泵油劣化、加热器损坏、喷塔被油垢污染等等。安捷伦扩散泵管状加热器和压紧结构设计,拥有---传热效率的同时,又---了泵油和加热器本身都没有过---,安捷伦分子泵控制器过载,泵油不容易裂解,加热器也不容易损坏;同时,精细的热传导和保温结构设计,也使热损失---降低。






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为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀,安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月,可以使用软启动功能启动分子泵,转速以阶梯方式缓慢加速,安捷伦分子泵控制器电流,使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月,建议送回维修中心,让分子泵在检测平台上按照既定程序加速(re-channeling),磨合轴承。





combineg系列采用安捷伦科技starcell离子泵抽气单元和赛斯(saes groups)的烧结型非蒸散型吸气剂


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安捷伦 afs 悬浮轴承系统,采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体,避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应,可以吸收各种振动的能量,降低整泵的噪音和振动。




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安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异,分子泵的工作寿命差别很大,但是如果分子泵已经工作了很长时间(5年以上),或者出现了噪音、温度、功率异常,及时的对其进行维护保养可以---延长其使用寿命。




安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构,由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低,震动小,结构简单,运行稳定,维护间隔周期长等优点,而且不易发生可能引起灾难性后果的---的故障。


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