







广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦turbo-v6000维修费用
长期存放不用不是的---有客户会认为,长时间停泵不用对分子泵的损耗会比较小。但是,分子泵长时间停泵后,在表面张力和重力的作用下,轴承内部的润滑脂可能会出现收缩成团、分布不均匀等现象,反而会影响分子泵的寿命。为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀,安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月,可以使用软启动功能启动分子泵,转速以阶梯方式缓慢加速,使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月,建议送回维修中心让分子泵在的检测平台上按照既定程序加速(re-channeling),磨合轴承。
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starcell 的设计使其成为能抽除大量惰性气体的离子泵,该泵可以以速度和容量处理、气和---气等惰性气体。非蒸散型吸气剂技术(neg)是saes集团于上世纪七十年发的。非蒸散型吸气剂对氢气、水蒸气、氮气、氧气等活性气体有很大的抽速,其通常与溅射离子泵、涡轮分子泵或者低温泵等其他真空泵结合使用,以---系统的---真空或者减少抽气时间。
涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶,每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片,如图一所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成,安捷伦turbo-v6000维修费用,即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用,能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速,有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速---,如果气体分子运动速度较大,泵抽真空就比较困难。
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有下面这些异常一定要尽早检修分子泵是高速旋转的机械,轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废;而当轴承工作状态---时,会有一系列的现象,如分子泵无法启动,运行噪音增大,温度或功率异常增加等,在排除外界环境和进排气压力过---外界因素后,应尽快停泵,送到维修中心进行检修。
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涡轮分子泵也是一种机械式真空泵,通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的,在分子流区域内对被抽气体产生---的压缩比,从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵---真空比扩散泵高,可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度,其真空度高低视泵不同略有差异,一般在1-200pa之间,可采用机械泵作为前级泵,高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高,通常用中频电机带动,中频电源的频率在300-400hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。
combineg系列采用安捷伦科技(agilent technologies),starcell离子泵抽气单元和赛斯(saes groups)的烧结型非蒸散型吸气剂(neg)。安捷伦真空(原瓦里安真空)是离子泵,赛斯是neg吸气剂泵的始创者。两家公司累计超过100年的真空经验、各自的技术和紧密的合作是这一---性的产品问世的基础。
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