爱德华二手泵es65保养-河源爱德华二手泵-广州潽拓光电

潽拓——爱德华二手泵}，分子泵

广州潽拓，epx180l 半导体干式真空泵 epx180l维修保养

主要特性和优势

       占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，爱德华二手泵es300过载，增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。

       受zhuanli保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

          超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

        运转时的噪声低至 56 db(a)，可在洁净室内实现低噪声。

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爱德华 boc edwards  g1946-80002涡轮增压泵

爱德华 boc g1946-80002 agilent 

爱德华boc edwards真空泵型号及参数

edwards爱德华 em 系列e2m40， e2m80， e2m175，爱德华二手泵es65保养， e2m275

edwards爱德华rv 系列rv3， rv5， rv8， rv12

edwards爱德华eh 系列 eh250， eh500，河源爱德华二手泵， eh1200， eh2600， eh4200