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真空检漏的实际意义？答：真空系统软件的限真空决策于系统软件的抽速和漏汽量，故在抽速一定时，漏气量就选择了真空度，欲使系统软件实现设定的限真空，务必根据检漏和补漏使体系的漏汽量---在容许漏率范畴内。

从基本原理上讲，真空检漏可分成哪两类？答：可以分成：1）工作压力检漏法，包含打气检漏法，卤素灯泡检漏法，氨检漏法。2）真空检漏法，包含高频率火苗检漏法，真空计检漏法，质谱仪检漏法。

概述真空泵的抽真空基本原理。答：1）利用缩小功效将汽体清除到泵外。a.机械设备周期时间式胀大缩小，b.蒸气流黏滞牵引带缩小，c.刚度表层的牵引带缩小。2）利用吸咐功效将汽体拘束于泵内。a.利用水解呼吸功效，b.利用物理学吸咐和有机化学吸咐功效。

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真空计，又叫真空规。

半导体行业中，难以避免的使用真空计，主要是用于测量某一个腔室或是管路中的气体压强。

是什麽？能干什么？如何使用？

1，是什麽？真空计，字面意思，计量检定真空度的仪器设备。

2，能干什么？真空计关键用于测量真空，或是叫测量气体压强尺寸。腔室里边汽体多，压力大，气体压---，真空计表明的标值就大；相反，inficon英福康真空计清洁保养，真空计表明的标值小。

3，如何使用？一般便是把真空计的物理性插口，kf接口或是是外螺纹插口收到腔室上，随后把真空计的电气设备插口收到电脑上或是型的数显仪表上。那样就可以测量腔室的真空度，也可以见到真空度实际的数据了。

真空计的种类及基本原理

真空计（vacuumgauge），又被称为真空规，是测量真空度或标准气压的仪器设备。一般利用不一样标准气压下的某类物理学效用的变动开展标准气压的测量。在科学研究和工业制造中普遍应用。依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制，可将具体的真空计分成三大类，分别是利用物理性能，利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。

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