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真空近年来陆续发布了多个型号的twistorr分子泵,该系列把分子泵的典型工作范围从高真空扩展到了真空。近日,针对一些对压缩比要求不高而气体流量很大的应用,真空又发布了谱拓系列分子泵。该系列包含305fsq、305-icq,以及两个带有中间抽气口的型号305sf和305-icsf。305fsq和305sf通过独立的控制器供电和控制,而305-icq和305-icsf具有集成于泵身的控制器,只需要为其提供24v电源即可工作。
---450sccm的氮气流量
305fsq和305sf可以处理很大450sccm的氮气流量,和很大500sccm的氢气/---气流量,在同等抽速和功率的产品中,是要求高气体流量的科研和工业应用的理想选择。而具有集成式控制器的305-icq和305-icsf也可以处理很大380sccm的氮气流量,和很大500sccm的氢气/---气流量,可以应对绝大多数的仪器应用。
改进的转子结构
谱拓系列分子泵拥有的转子结构:比其他305分子泵增加了一级涡轮叶片,爱发科真空泵清洁保养,并采用了与其他305分子泵不同的牵引级。牵引级是专为---载而设计的,它拥有更宽大的气体通道,解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时---集中的问题,可以承受持续的---体流量,并可将前级耐压提高至16mbar。
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典型涡轮分子泵抽气系统涡轮分子泵抽气系统一般不需要用常见的液氮冷阱来阻止轴承润滑油或机械泵泵液的返流只要泵是以额定角速度旋转,那么泵对除很轻的气体氢以外的所有气体都具有比较高的压缩比,---阻止这些气体从前级管道端返流到高真空端液氮冷却的表面不能捕集因压缩比低而返流到真空室的少量的氢液氮冷阱可用来提高系统对水蒸气的抽速,
其---的安装位置是在高真空阀的后面,也就是直接设置在涡轮分子泵的喉部上方还可以考虑在高真空阀后面装一个三通管,把涡轮分子泵接在它的一个接口上,而把液氮冷却的表面接在另一个接口上而三通的任何两个接口之间的流导都要小于液氮冷阱的通导然而要使分子泵对水蒸气和空气都具有很大抽速,很佳的安排还是将液氮冷阱安装在涡轮分子泵和高真空阀门之间。
涡轮分子泵抽气系统既不需要用粗抽阱也不需要用前级管道冷阱粗抽与主抽系统之间较高的切换压力能防止机械泵油通过粗抽管道迁移到真空室中去,而泵对碳氢化物馏分的高压缩比也阻止它们从前级管道通过泵反扩散到真空室中去。
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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:压缩比与---阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时,分子泵稳定工作,减压比保持恒定。如图464所示,当当前级压力升至1pa时,子压缩比开始降低,而当当前级压力升至数十帕斯卡时,压缩比急剧下降,分子泵无---常工作。
抽速与气体类型之间的关系。所示的关系是,该变化比直线稍慢。这是因为,在旋转速度下,p较大的气体具有较大的速度比,因此叶片的hoe系数较大,但是它们在进气管中的电导率是由于增加和减少。涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐---冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的真空。涡轮分子泵广泛用于高能、可控热---装置、重粒子以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
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