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对使用过的安捷伦扩散泵做过保养的客户都会有一种印象，与别的扩散泵经常会结满黑黑的油垢不同，安捷伦的扩散泵喷塔往往在使用好几年后也非常干净，有客户甚至猜测安捷伦的扩散泵喷塔使用了类似不粘锅的涂层。其实，这主要是因为安捷伦扩散泵喷塔上防焦化挡板设计——在每一级喷嘴的上方，varian真空泵维护，都会有一个与下面的喷塔点接触的罩子，该罩子的温度比喷塔低很多，所以，从上方滴下的油滴就不会落到高温的泵塔上焦化结垢，而是滴落在低温的挡板上，这就---了安捷伦扩散泵的喷塔可以一直很干净，不用定期费时费力清洗
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真空泵长期使用后，多少都会出现真空泵漏油现象。如果只是小范围的渗漏，只要泵油在油视镜观察的正常范围以内，可以暂时不用管，若油位己低于正常范围了，就需要立即添加泵油才可正常使用，否则可能会使真空泵损坏。注意，油位如果太高也可导致喷油，加到油视镜三分之二处。
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分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？
答：注意水温和水流量，冷却---会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是方式？
答：电源本身有接地线，只需要---市网有---接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。
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分子泵的原理分子泵是一种动量型真空获得设备，子分子流态下，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到逐级压缩，---后被抽除。
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varian sh01101univ - sh-110 scroll pump varian涡旋式干泵sh110， variansh110是美国瓦里安公司涡旋真空泵，为用户提供一种完全无油的真空，其---真空为0.1mabr， 抽速为：100l/m
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