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▲dl-10a谐振阻抗测量电路
近似地谐振阻抗z为:z=r×vae/vde。其中vae是ae两点间的电压,vde是de两点间的电压。测量了阻抗,由阻抗与气体压强的关系曲线,便可知道气体的压强。例如,dl-10a型石英真空计采用fc135晶振做传感器,其阻抗与压强的关系如下所示:▲fc135晶振谐振阻抗与压强的关系
图中纵坐标△z是谐振阻抗z与固有阻抗z0之差。固有阻抗是压强远小于下限即小于10-3pa的阻抗。横坐标是压强,由图可见,在压强小于100pa,△z与p近似成线---。在104-105pa之间,英福康bpg400真空计调试,△z与p的开方成正比。我们将上述曲线存在单片机中,测量△z值,由数码管显示对应的压强值,这就是石英真空计的工作原理。
dl-10a设置一个零点调节按键,当压强小于10-3pa时,按一下该按键,单片机执行中断程序,将此时的z值存在单片机的eeprom中。dl-10a还设置一个---调节按键,当传感器暴露在---时,按一下该按键,单片机执行另一中断程序,将此时的z值存在单片机的另一eeprom中。当仪器长时间不用或环境温度变化较大时,应进行零点调节及---调节。
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真空计校准装置如何实现“小尺子”发挥“大作用”?
回顾便携式真空计校准装置的研发历程,为了---校准装置的灵活使用,以实现在线校准的初心为牵引,真空事业部产品研发人员在前期技术积累基础上,开展集智攻关,突破了众多技术难关。为了满足不同空间、不同环境的灵活使用,要---“尺子”体积足够小、方便携带。
便携式真空计校准装置技术负责人介绍,真空计一般都是应用在真空环境模拟试验装置上,这些装置可都是“大家伙”,按照传统的计量校准方法,需要将上面使用的各类真空计拆下来送到实验室进行定期校准,不仅增加了拆装的工作量,运输过程中还存在损坏的风险。真空计频繁拆装成了影响试验生产进度的重要因素之一。
为了---真空计在各类产品的科研试验生产现场中的灵活计量,多年来,真空事业部研发人员在前期技术积累基础上,开展集智攻关,成功研制了便携式真空计校准装置。该装置解决了长期以来真空校准装置笨重无法携带到现场只能在实验室校准的技术难题,实现了真空计在线校准,---了试验生产任务持续有效进行。
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由于许多真空应用仅可在一定的压力范围内进行,所以能够准确且---测量总压在实际应用中十分重要。系列有效测量并控制真空系统中的总压,全新添加的数字式信号输出功能,可以让其实现---且的数据传输。与模拟测量方法相比,能够无损无误地传递用于过程控制和记录的测量数据,得到准确的结果。
系列产品配备m12插接头,使该真空计即使在严苛工艺环境中也可使用。真空规还可与hipace@涡轮分子泵和inficon真空其他产品一起在通信网络中运行。在配件方面,现已有profibus-dp、devicenet或带两个开关点和一个lcd显示器的附加模拟输出设备可供选择
为应对不断变化的市场需求,该系列 很近新增了更多选配件。
此前,该系列真空规仅配备rs-485接口,而现在,还配有工业以太网接口profinet和ethercat。与传统现场总线相比,它们具有数据传输速率---、接入设备---更多的优点,因而能够帮助企业加速实现工业4.0目标。profinet和ethercat接口此外,除了此前采用模拟输出的版本,现还配有电容式真空规cct。该真空计拥有不受气体种类影响和测量精度高的优势,并可用于镀膜过程的准确过程控制、冷冻干燥或校准实验室。
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