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分子泵系统在停机充干燥气体前，岛津真空泵保养服务，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。

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分子泵出现机封渗油

故障剖析：机封毁坏；密封性旋盖未铺平；装配线部位不对。

解决方法：拆换机封；调节密封性旋盖；再次按技术标准装配线。