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压缩比 涡轮分子泵的压缩比是指前级管道(排气口处)的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同,varian真空泵维修服务费用,泵对各种气体的压缩比也不同。气体分子量m 的平方根与压缩比k 的关系如图6所示,泵对氢的压缩比很小,一般为1000 左右,这样一来如果前级管道中氢的压力为1 10- 7 torr(13.33 pa),那么进气口处氢的压力则小1000倍,varian真空泵维修费用,即为1 10- 10 torr(13.33 npa)。
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分子泵注意事项:
1、分子泵运行以前请确定分子泵安裝妥当,电缆恰当联接并确定处在卡紧情况。
2、分子泵在接电源后及一切正常运行时旋转工件是由磁场力支撑点飘浮的,番禺区varian,请尽.量不必碰触泵壳及控制板,非常是电缆,肯定不可以碰触。
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