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上轴承为性磁悬浮轴承：无需清洁、振动小、磨损低配有手动放气阀（可选配电磁阀，用于全自动放气）holweck拖曳分级技术，实现高吞吐量和高前级压力差带有吹扫口，爱德华磁悬浮涡轮泵服务，提供制程气体稀释，爱德华磁悬浮涡轮泵，以保护电机和下轴承

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edwards next240d涡轮分子泵

入口法兰dn100iso-k，dn100cf

出口法兰kf25

抽速n2240l/she230l/sh2165l/s

压缩比n2>;1×1011he3×105h21×104

---真空（iso/cf，rv前级泵）<6×10-8/<5×10-10 mbar

前级泵*rv12/nxds10i

放气口1/8英寸bsp母螺纹

吹扫口1/8英寸bsp母螺纹

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