安捷伦真空分子泵定期保养-安捷伦真空分子泵-广州潽拓光电

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空分子泵

安捷伦扩散泵特点维护简单，皮实---不爱坏扩散泵内部没有活动部件，与机械式真空泵的磨损失效不同，其工作失效的原因主要有泵油劣化、加热器损坏、喷塔被油垢污染等等。安捷伦扩散泵管状加热器和压紧结构设计，拥有---传热效率的同时，安捷伦真空分子泵，又---了泵油和加热器本身都没有过---，泵油不容易裂解，加热器也不容易损坏；同时，精细的热传导和保温结构设计，也使热损失---降低。

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为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀，安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月，可以使用软启动功能启动分子泵，转速以阶梯方式缓慢加速，使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月，建议送回维修中心，安捷伦真空分子泵异响处理，让分子泵在检测平台上按照既定程序加速（re-channeling），磨合轴承。

combineg系列采用安捷伦科技starcell离子泵抽气单元和赛斯(saes groups)的烧结型非蒸散型吸气剂

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振动分析   在制造过程中以及泵运输前的测试中，对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平：0.4 m/s2。噪音测试   通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试，来验证泵噪音：垂直、水平和翻转位置；高温和低温；全速和低速。在正常运行状态下，168 次测量得到的平均噪音为 41 db(a)+/-3σ。包装测试   通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能，在测试时，使带包装的泵从 96 厘米/37.8 英寸的高度以各种角度跌落 18 次。装有 twistorr 305 的包装箱可承受 30 g 的加速度，以---在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。

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分子泵控制器 “3d” 控制软件

早期的分子泵控制器又叫分子泵电源，其的功能是向分子泵供电；后来，改进型的控制器具备了一定的保护功能，可以监控分子泵的功率和温度，相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线，分子泵只能在这条线以下工作（2d），安捷伦真空分子泵定期保养，若超过这条线控制器就会报警停机。

与 704fs 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在---自身安全的同时，始终工作在一个达到---的曲面上（3d），达到佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。

与 704fs 同时发布的还有 804fs 和 404fs，加上之前的 84fs 和 304fs，形成了一个完整的系列。