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大阪涡轮（复合）分子泵运行过程当中，机械泵是始终要开启的，关闭了机械泵分子泵会因过载而停机，停机后真空腔室的压强会慢慢回升。在进行真空泵选型时，应该考虑抽气的成分，从而选用具有特殊功能的泵，或者在进气前要考虑安装过滤装置，比如安装进气过滤器以除掉空气中的杂质，避免污染。