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国内在90年代也有人研制了石英真空计,所用电路是以晶振本身为频率控制元件的自振荡,自---电路。测量范围为0.1pa~2×105pa。 很近我们研制的dl-10a型石英真空计采用fc135晶振,测量范围为5×10-1~105pa。目前已有石英真空计产品,
例如:cc-10真空计测量范围是1.33×10-2pa到---压,m-320xg晶振真空计测量范围是1x10-1pa到---压,dl-10a型石英真空计测量范围是5x10-1pa到---压。其优点为:传感器体积小,耗电功率小(约1w),精度较高(约10%),量程较宽(10-1~105pa)等。
part 01工作原理
石英晶振在谐振时,其谐振频率或谐振阻抗均与周围气体压强有关,二者均可用来测量压强。用谐振频率与压强有关的特性做真空计精度高,inficon检漏仪技术咨询,但测量范围较窄,它可以用作标准真空计或应用于要---度高的真空测量领域。用谐振阻抗与压强有关的真空计测量范围较宽,可达0.1-105pa,适合做工作用真空计。晶振在谐振时,同时自身也存在机械振动,振动时将受气体阻力,荔湾区inficon检漏仪,阻力的大小与气体压强有关,因而晶振的电学阻抗也与气体压强有关。
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由于许多真空应用仅可在一定的压力范围内进行,所以能够准确且---测量总压在实际应用中十分重要。系列有效测量并控制真空系统中的总压,全新添加的数字式信号输出功能,可以让其实现---且的数据传输。与模拟测量方法相比,能够无损无误地传递用于过程控制和记录的测量数据,得到准确的结果。
系列产品配备m12插接头,使该真空计即使在严苛工艺环境中也可使用。真空规还可与hipace@涡轮分子泵和inficon真空其他产品一起在通信网络中运行。在配件方面,现已有profibus-dp、devicenet或带两个开关点和一个lcd显示器的附加模拟输出设备可供选择
为应对不断变化的市场需求,该系列 很近新增了更多选配件。
此前,该系列真空规仅配备rs-485接口,而现在,还配有工业以太网接口profinet和ethercat。与传统现场总线相比,它们具有数据传输速率---、接入设备---更多的优点,因而能够帮助企业加速实现工业4.0目标。profinet和ethercat接口此外,除了此前采用模拟输出的版本,现还配有电容式真空规cct。该真空计拥有不受气体种类影响和测量精度高的优势,并可用于镀膜过程的准确过程控制、冷冻干燥或校准实验室。
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inficon真空泵系列产品空气流速准确测量真空计再添新式号,inficon检漏仪维修服务,选用模拟信号輸出,为准确并---的传输数据服务保障。20很多年来,inficon真空泵凭着数显式空气流速准确测量真空计为空气流速准确测量给予整套计划方案,这款型号规格根据模块化可以适用一切工业生产真空泵运用,它所配置的真空泵规也便于安裝,可以实现---的空气流速准确测量。
因为很多真空泵运用仅可在一定的工作压力区域内开展,因此可以准确且安全性地准确测量空气流速在具体运用中十分关键。系列产品合理准确测量并---超滤装置中的空气流速,全新升级加上的数显式数据信号輸出作用,可以让其完成高精密且---的传输数据。与模拟测量法对比,可以高准确无误地传送用以过程控制和记载的测定数据信息,inficon检漏仪维修维护,获得更为准确的結果。
系列产品产品配置m12插连接头,使该真空计即使在苛刻加工工艺自然环境中也可应用。真空泵规还可与hipace@涡轮增压分子泵和inficon真空泵别的产品一起在网络通信中运作。在零配件层面,已经有profibus-dp、devicenet或带2个电源开关点和一个lcd显示器的额---拟输出机器设备可选择。
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