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在高真空抽气过程的起始阶段，泵的很大的未经烘烤的内表面会吸附水，然后再在较低的压力下重新释放出来。这种效应在无阀门的系统中更为明显，因为它可能比未暴露在压力高于150pa的空气环境的有阀门的系统吸附更多的水蒸气。系统停机时，先关闭高真空阀，如果有液氮冷阱的话，还要将冷阱加热。在冷阱达到平衡温度后，关掉前级管道阀，爱发科进口真空泵维修与保养，再切断涡轮分子泵电动机的电源，使分子泵的转子减速。

一般来说，泵转子完全停止需要十分钟或更长的时间。在分子泵转子减速期间，来自前级管道的碳氢化合物和涡轮分子泵的润滑油蒸气会迅速地向泵的进气口上方区域扩散。为了防止机械泵油蒸气和涡轮分子泵润滑油蒸气的返流，在切断涡轮分子泵电动机的电源后，要用一股干燥的反向气流对分子泵进行放气。

例如，应该在泵转子速度下降到很大转速的50%左右时，在泵进气口上方的某处或在转子组件上部连续充入气或氮气，直到泵内压力达到---压。通过从阀门3（见图1）充入气体就可适当地完成这一操作。当涡轮分子泵以额定速度运转时，不应经常充入压力为---压的气流。这样做对轴的寿命是不利的。当前级管道阀关闭后，即可关掉机械泵系统，并用放气阀对机械泵内进行放气。停机后应立即关掉冷却水以防止内部冷凝。在正常工作时，可把水温调节到略高于来消除泵体外部可能形成的冷凝物。

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分子泵使用中有哪些注意事项？2.一文了解分子泵在半导体行业的应用3.如何科学地获得真空？4.国际热核聚变试验堆（iter）的真空结构5.一千多台样泵用于各项测试，仅选很优方案，---新型分子泵测试方法；真空---真空行业---平台：涡轮分子泵应用于质谱系统分子泵应用于紧凑型质谱系统。

质谱分析是指与质谱分析相结合的一种核分析技术，用于实现同位素比值的测定.需要清洁无油的高真空环境，一般采用干泵配备涡轮分子泵实现高真空环境.质谱系统需要分子泵抽真空原因:1.电子加速运动的需要;2.电子正常工作的需要;3.加速管微波电场的需要(避免加速管中出现微波打火，爱发科进口真空泵维修养护，必须抽到高真空). 中科院某大型科技工程项目，工程的主体建筑是三大:一台150mev（1.5亿电子伏特）的电子直线、一台能在0.5秒内把电子束能量从150mev提升到3.5gev（35亿电子伏特）的量增强器，以及一台周长432米的3.5gev电子储存环，

经过技术，成功采购爱发科涡轮分子泵和干泵，涡轮分子泵抽速范围10至2700l/s，转速---90，000rpm，---真空很大1e-11mbar，对小分子气体具有更高的压缩比，实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100，000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用，搭配旋片泵和干泵共同使用.

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