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出口法兰kf25

抽速n2240l/she230l/sh2165l/s

压缩比n2>;1×1011he3×105h21×104

---真空（iso/cf，rv前级泵）<6×10-8/<5×10-10 mbar

前级泵*rv12/nxds10i

放气口1/8英寸bsp母螺纹

吹扫口1/8英寸bsp母螺纹

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