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涡轮分子泵的运用比较简便。其工作压力在 1pa 左右，所以选用旋片式机械真空泵作前级泵即可。涡轮分子泵有一的中频电源，对泵内的中频电动机供电，接通中频电 源后，约在数分钟内，alcatel分子泵维护价格，便可使泵的转速到达额定值。阿尔卡特涡轮分子泵维修

涡轮分子泵的额定转速因尺寸而异，一般在30000~50000r/min。泵内承受高速旋转的轴承，需要通以冷却水冷却。为达到泵的---真空，应对被抽容器和泵体进行烘烤。因泵内的级间联接部分是用橡胶密封的，故泵体的烘烤温度不能超过110c。阿尔卡特涡轮分子泵维修

旋片式真空泵适用范围

气体类型: 常温无其它混合物的清洁干燥空气，不许有含其它粉尘及水分的空气。

工作要求: 进口压强在大于6500pa时连续工作时间，不得超过3分钟以免喷油引起泵损。

工作要求: 进口压强在小于1330pa的条件下，允许长时期连续工作。阿尔卡特涡轮分子泵维修

环境温度: 真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对湿度的环境内使用。

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半导体器件的生产制造工艺极其复杂，需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作，例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着---的要求。分子泵养护 

罗茨真空泵在石油、化工、塑料、nong药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵配件作为真空泵消*器，用于真空泵的噪声治理。分子泵养护

转子的内部冷却:为了使罗茨真空泵在更高压差下工作，可采取更有效的冷却方法，即将转子用循环油冷却，在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入，经转子内壁再从另一端排出。冷却油除冷却转子外，还润滑齿轮和轴承。这种冷却效果较好，泵在运转时转子温度低于外壳温度，大泵常采用这种方式。 分子泵维修，例如在80torr压差下工作时，罗茨真空泵转子温度较外壳低78度，同时还发现泵负荷越重时，则间隙越大，这是因为转子用油冷却，温度比壳体低，负荷越大，壳体膨胀越厉害，轴间距加大，所以间隙会增大。

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