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涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快,有机蒸汽污染少和---真空---特点.因此在---质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统,即使检漏仪不用液氮冷阱,质谱室也不致---沾污,并能保持较低的本底或杂声.这有利于---质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高,并且延长离子源的使用寿命.
---质谱检漏仪范围很宽,不仅可检测---气,而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。---质谱检漏仪中没有手动阀,现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵,以消除可能造成的油返流。计算机技术也在检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。
我们都知道,旋转机械的不平衡是引起振动的常见原因之一,由此产生的振动力取决于旋转速度以及不平衡的程度。而在高速旋转的机械中,不平衡则是非常---的问题。尤其对转子速度---90000rpm(1500rpm/sec)的涡轮分子泵而言,对于动平衡品质的要求---,哪怕是几毫克范围内轻微的不平衡,都会对泵的运行产生重大影响。因此,爱发科真空泵咨询热线,涡轮分子泵的转子需要做精密的动平衡,品---的动平衡既关系到转子的平稳运行,也关系到涡轮分子泵的磨损,还可---将传递到真空腔室和用户应用系统上的振动降至很低。
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分子泵入口应装设防护网,以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。抽气系统装有单独粗抽管路的涡轮分子泵抽气系统的操作方法与扩散泵抽气系统相似。在开始粗抽以前,高真空阀和粗抽阀是关着的,中山爱发科真空泵,而前级管道阀是打开的。首先关闭前级阀,启动粗抽泵(兼前级泵),打开粗抽阀开始对真空室进行抽气。在真空室内的压力降到150~100pa时关闭粗抽阀,爱发科真空泵清洁保养,打开前级管道阀,再启动涡轮分子泵(需先接通冷却系统)。
如果分子泵入口处装有液氮冷阱,则应在泵加速到额定转速后(一般需5~10min)加注液氮。1-涡轮分子泵;2-液氮冷阱;3-放气阀;4-电离规;5-热传导规;6-粗抽阀;7-机械泵;8-前级管路阀;9-高真空阀。图1 典型涡轮分子泵抽气系统粗抽系统的配置随真空室的容积大小而有所不同。对500l/s或更小的涡轮分子泵来说,可采用一台双级旋片泵;1000l/s以上的涡轮分子泵则采用以机械泵为前级泵的罗茨泵机组。
在压力为100到150pa时关闭粗抽阀,把真空室切换到涡轮分子泵上。对某些泵,这样做会引起轻微而滞后的瞬时减速,但这对抽气并无影响。正如扩散泵抽气系统那样,涡轮分子泵系统中的很主要的物质是水蒸气,其臭气时间将受液氮冷阱抽速的支配。如果不用液氮冷阱,那么这个系统抽除水蒸气的速度就会比同样抽速的无冷阱扩散泵略慢一些。
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涡轮分子泵应用于低温扫描隧道显微镜lt-stm涡轮分子泵应用于低温扫描隧道显微镜ltstm
扫描隧道显微镜stm是根据力学中的隧道效应原理,通过探测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显微装置.低温扫描隧道显微镜lt-stm真空互联除了具有纳米分析能力外,它还可以在4到300k的温度范围内对原子和分子进行准确操作.
低温扫描隧道显微镜lt-stm具有很长的lhe保持时间,极低的漂移率和---的稳定性dz
lt-stm系统需要在真空环境中进行研究,对真空度要求及其高,真空可到1e-10mbar,需要用前级泵,分子泵,离子泵,钛泵等组合使用来达到要求,同时分子泵需要低振动,爱发科真空泵维修及保养,低噪音,清洁无油---真空的稳定性以---晶体的生长和后期的探测分析.
某搭建lt-stm真空互联系统公司,采购5套涡轮分子泵用于给装置提供真空.主要技术参数如下:
抽速l/s
n2:260,h2:220,he:255,ar:255
全转速时气体流量
mbarl/s
n2:14,h2:>;14,he:20,ar:7
压缩比
n2:>;1x1011,h2:9x105
he:>;1x108,ar:>;1x1011
声压水平
≤50dba
很大功率消耗
300w
很大电流
12.5a
安装方向
任意方向
允许辐射的很大热功率
2.4w
很大允许磁场
5.5mt
转速±2%
60000min-1
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