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涡轮分子泵 hipace 80 技术参数:分子泵型号接口 dn抽速 l/s压缩比高启动压强mbar---压力全转速气体流量hpa l/s启动时间重量进气口排气口氮气 n2---气he氢气 h2氮气 n2氮气n2hpa氮气n2minkghipace 806316675848>; 1x101122< 1x10–71.31.752.4
分子泵应用:
分析仪器:电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析
半导体:pvd inspection bonding mbe load-locks
工业:医学技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造
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特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有---的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可---降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
⑼真空泵的价格、运转及维修费用。
机械安装
⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。
⑵真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,---真空泵运转平稳,振动小。
⑶真空泵与系统的连接管道应密封---,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣,严禁焊渣进入真空泵腔。)
⑷在连接管路中,用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查真空泵的---压力。
⑸按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。
⑹真空泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用,以防真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)
⑺对于有冷却水的真空泵,按规定接通冷却水。
⑻如真空泵口安装电磁阀时,阀与真空泵应同时动作。
⑼当真空泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
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