黄埔区普发真空泵tph1801p来电咨询

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    2024-1-30

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广州潽拓光电——pfeiffer hipace80分子泵

分子泵应用一:hipace 80,hipace 400 用于分子束外延 mbe,主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。

分子泵应用二:hipace 80,hipace 300 用于specs 近常压光电子能谱仪设备

涡轮分子泵 hipace 80 技术参数:分子泵型号接口 dn抽速 l/s压缩比高启动压强mbar---压力全转速气体流量hpa l/s启动时间重量进气口排气口氮气

n2---气he氢气 h2氮气

n2氮气n2hpa氮气n2minkghipace 806316675848>; 1x101122< 1x10–71.31.752.4





分子泵应用:

分析仪器:电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析

半导体:pvd inspection bonding mbe load-locks

工业:医学技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造




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特点

(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;

(2)转子具有---的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可---降低驱动功率,从而可实现较高转速;

(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;

(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;

(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;

(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。

⑼真空泵的价格、运转及维修费用。


机械安装

⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。

⑵真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,---真空泵运转平稳,振动小。

⑶真空泵与系统的连接管道应密封---,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣,严禁焊渣进入真空泵腔。)

⑷在连接管路中,用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查真空泵的---压力。

⑸按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。

⑹真空泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用,以防真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)

⑺对于有冷却水的真空泵,按规定接通冷却水。

⑻如真空泵口安装电磁阀时,阀与真空泵应同时动作。

⑼当真空泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。




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广州潽拓光电----真空泵

   真空泵是真空包装机的部件,对真空泵的维护保养关系着真空包装机的使用安全和使用寿命,所以对真空泵的保养一定要做好,以下是广州潽拓光电科技有限公司多年来总结出来的经验:??

1,必须保持真空泵油在每次使用时是清晰光亮的,真空泵油不能出现浑浊和起泡沫等现象,检查真空泵油静止沉淀时要有乳白色物质,如果有就说明有外来物质进入真空泵油,那么就需要更换新的真空泵油。??

2,每星期检查一次油位和油的颜色状况,如果油位低于标记,要添加油之后再使用,如果油位超过了大标记,说明有外部物质进入,检查油质,根据情况放掉部分油,或全部更换新真空泵油,---时要做更换气镇阀处理。??

3,每年要更换一次排气过滤器,也可以用压缩空气进行清洗后再使用。?

?4,每隔半年需要清洗一次真空泵内的污垢和灰尘,对风扇轮、通风格栅、冷却翅片以及风扇引擎罩进行清洗,用压缩空气清洗。??

5,对于真空泵油及时进行更换,每月都要进行一次对排气过滤器与进气过滤器进行的检查



varian瓦里安分子泵在高真空和超真空真空应用中的几点优势

1、陶瓷轴承,脂润滑,无需维护,两个轴承都在排气口端,---了清洁的真空环境。360度任意角度安装,长寿命,平均---运行时间

长达12000小时。

2、转子叶片一次加工完成,不仅自重轻,而且多大减少了叶子内的应力。因此机械强度高,转子---。

3、有用技术的macro torr拖动级,使得瓦里安分子泵对气体,---是小分子气体,油---的压缩比




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