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分子泵是---质谱检漏仪中获得高真空重要部,是---质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着---质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对---质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50pa,远达不到高压检漏的要求。
1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压---已达2000pa。这种泵用作---质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500pa,ulvacnrl60a干式真空泵保养,v1开,氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室,实现仪器的逆扩散检漏。
若能进一步将试件抽至200pa以下,则v2关闭,v3打开,从泵的中间口逆扩散至质谱室,若能进一步将试件抽至40pa以下,则v3关闭,v4打开,---气从泵的上部逆扩散进入质谱室,或直接进入质谱室(常规检漏)。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程,一气呵成,不仅,也便于漏率的定量,由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的,仪器只需1次校准即可。
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当时现行标准的分子泵不能直接用到圆排机上,因为圆排机的工况,工作过程中灯管不可避免地会产生漏气和破损而产生的压力高、---流的冲击和碎屑等的情况。鉴于此,由公司专项研制高压强分子泵,由上海涌真机械有限公司实施圆排车制造替换谱拓泵,把公司研制的分子泵应用在上海正贝照明制造的圆排车上,进行的替代设计制造。
此后,公司成功研制出ff-160/500g分子泵,其技术参数详见表1。表1 ff-160/500g复合分子泵技术参数替换方案此前圆排机上的两套分别为:一台zjp150谱拓泵和trp-16一台真空泵和凯尼zj150谱拓泵和爱发科vd401真空泵的谱拓真空组。左:普通分子泵;右:高压强分子泵替换方案为:一套由一台kyky公司的ff160/500g分子泵,前级为北仪优成的trp-60或trp-48真空泵,过渡真空室、接管、真空测量系统组成的机组(简称分子泵机组)。
现一台分子泵机组拖7工位,可增至10个工位。原两台拖7工位。表2 工作监控情况及对比数据表实际效果对比分析分子泵机组比抽气速率大,真空度高近一个数量级。而且相较而言,分子泵机组的噪音更小,占地面积更小。在运转费用方面,按一年280天计算,每天24h,全年就是6720h。单位:元
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它的特点主要有: 1、泵腔内有可旋转的转子,转子的四周带有沟槽并用挡板隔开。每一个沟槽就相当于一个单级分子真空泵,后一级的入口与---级的出口相连。 2、转子与泵壳之间有 的间隙,气体分子由入口进入泵腔,被转子携带到出口侧,经排气管道由前级泵抽走。 3、分子真空泵的优点是起动时间短,在分子流态下有---的压缩比,能抽除各种气体和蒸汽,---适于抽除较重的气体。
它的不足:抽速小,密封间隙太小,工作---性较差,易出机械故障等,因此除特殊需要外,实际上很少应用。曾一度被结构和制造简单,抽速大的扩散泵所代替。分子泵报价, 涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵,这种结构的分子泵是双轴流的,吸气口在两组抽气单元的中央,气体吸入后,分别被左右两侧的叶列组合抽走。
立式涡轮分子泵,泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大,通常在 lmm 左右,因此泵工作时很安全。接下来主要介绍这两种涡轮分子泵特点: 1、清洁,无油蒸汽返流; 2、使用方便; 3气体输送能力强; 4、适于真空应用; 5、高压力下性能---; 6、循环的时间短;; 7、正常使用时间长; 8、设备费用高;9、对颗粒物或沉积物敏感; 10、噪音与振动; 11、破碎问题; 12、暴露---易引起事故;
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