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莱宝 leyss 400-300-25 03 2005分子泵

leysstw400/300/25s是特殊分流的涡轮泵,leysstw400/300/25s三入口能
同时抽取三个腔体的真空,分别抽速可达到400l/s,300l/s,15l/s,
转速为48000rpm,汕头维修爱德华真空泵,对应的控制器为:?leyss t400.
leyss tw400/300/25s德国莱宝涡轮分子泵典型的应用:
---检漏仪
液相色谱-质谱(lc-ms)
气相色谱-质谱(gc-ms)
电感耦合等离子体质谱法


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莱宝leyss turbovac mag w 3200涡轮分子泵

turbovac mag w 3200 c/ct常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- cvd;- 光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象,维修爱德华真空泵机组, 选用带温度控制的扩展附件在mag 1500 c、mag 2000 c、mag2800和mag 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。



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德国莱宝leyss turbovac tw 40030025 s分子泵维修服务

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