




广州潽拓光电科技有限公司——alcatel分子泵 磁悬浮涡轮分子泵维修
含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备,在集成电路刻蚀等工艺过程中,部分工艺气体容易冷却凝结,附着在分子泵转子及内壁,造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞,影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度,降低工艺气体凝结,提高分子泵稳定性及寿命。 磁悬浮涡轮分子泵维修
我们所称呼的“质谱仪单元”是---气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击,它会从电子层脱出。结 果,带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修
分子泵的工作区间是有---的,*大启动压强也要在100pa,直接---启动只会长期处于过载状态运行,alcatel分子泵维护价格,并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修
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广州潽拓光电科技有限公司——alcatel分子泵 真空泵养护维修
单级旋片式真空泵的真空度只能到达1*10-2托,不能到达再高的原因是:
1、泵的布局上存在“有害空间”,空间中的气体是无法排除的。当旋片转过排气口后,这一有些气体又被紧缩,经过转子与泵腔间的缝隙又回到吸气空间,所以,“有害空间”越小,泵---真空度越高。
2、泵腔被旋片分隔变成两有些:排气空间与吸气空问,两者间存在着必定的压强差。当排气空间的气体被紧缩得很小时,压弧---,会经过各种可能的路径---到吸气空间去,使真空度下降。真空泵养护维修
3、泵油在泵体内循环活动进程中会溶解进很多气体和蒸气。在吸气空间,因为压强较低,溶解的气体又会跑出来,使泵的真空度不易进步。
为了提高泵的---真空度,除了提高泵体、转子、旋片的加工精度,尽量削减安装空隙和有害空间以外,河源alcatel分子泵,真空可以认为zui有用的办法是将两只单级泵串接起来,组合成双级泵。这样,---真空度将提高,可达10-4托(进口真空泵可到达10-5托)。真空泵养护维修
涡轮分子泵主要由一个外壳与转子和定子组成。旋转圆盘和固定圆盘交叉排列,一个转子盘和一个定子盘组成一个泵级。转子转动得越快,抽吸效果就越---。现代泵的转速已---90 000 min-1,圆周速度为 400 m/s。而在1958年willi becker的自制样机转速就能达到142 m/s。真空泵养护维修
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广州潽拓光电科技有限公司——alcatel分子泵 高真空分子泵维修
在某些中真空应用中,alcatel分子泵维修价钱,需要进入10-1pa范围,这对罗茨泵的二级机组往往难于实现,而使用二级罗茨泵串接的三级机组可使真空度提高一个数量级而进入10-1pa,所以中真空应用也常用三级机组。由于分子增压泵在10-1pa可以满抽速,所以亦可以在三级中真空机组中取代两级罗茨泵。一般地讲,长时间工作在中真空的低端压力范围的罗茨泵,分子增压泵可以完全取代。而长时间工作在中真空*端压力范围的罗茨泵相对而言应该较少,因为这一压力范围前级泵往往还具有---的抽速。高真空分子泵维修
一、真空泵正常运转使用时,每三天对以下内容进行一次点检:
a、泵油是否在游标范围以内
b、泵油是否有变黄变黑、混浊现象
c、声音是否出现异响
d、真空泵运行时是否出现漏油
当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高,alcatel分子泵养护,单级泵往往不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较---量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦,可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmhg以上,可选用水环----泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。高真空分子泵维修
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