萝岗区英福康bpg400真空计定期维修即时留言

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安装晶振的集成机箱 真空腔体压强测量与外壳检漏

有些器件需要在真空条件下工作，就要将这些器件密封在腔体中，这样腔体中压强要测量，外壳也需要捡漏，并要估计漏率的大小。因为石英晶振体积比较小，选用石英真空计测量压强是合适的。只要将石英晶振密封在腔体中，用两根引线引出腔体即可。腔体的漏率可以用以下公式计算：漏率q=v×dp/dt，式中v是腔体体积，dp是在dt时间内压强的变化。

若初始压强为10pa，存放两天后压强上升到20pa，体积为2cm3，可算出漏率为1.2×10-10pa.m3/s。如有漏，可用密封材料堵怀疑有漏的地方，若压强不再变化，说明漏洞就在这个地方。

市电供应困难的环境

测量几万伏高压处的压强，真空计的外壳要接高压火线，可用石英真空计来测量。因为石英真空计的功率小，可用电池供电，这样可将石英真空计及电池均放置在高压绝缘柱上。此外，由于石英真空计耗电小，不一定要交流220v供电，仅需要9v直流电池供电即可，这样它会在航天事业中获得应用。

▲石英真空计放置高压绝缘柱上

石英真空计的下限决定于石英晶振阻抗的漂移，而阻抗的漂移决定于石英晶振的结构及环境温度的变化。选择适当结构的晶振，可以获得较低的下限。石英真空计的优点是传感器体积小，功耗小，精度较高，量程较宽等，因此它将有广泛的应用。

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电路主要由开关电容电荷放大器和一阶σ-δ调制器组成，利用0.25umcmos技术制作成集成芯片，芯片有效面积约为2平方毫米，供电电压2.5v，功耗约为6mw。电路的灵敏度可以达到2.5v/pf，英福康bpg400真空计定期维修，分辨率可达到4af。为满足不同应用的需求，pérezsanjurjo等设计了一种适用于inficon电容式传感器的电容-数字信号转换电路。

可编程放大器提供了多个增益，使得电路可以根据信号的输入强度及要求来选择合适增益。可调方波时钟发生器为传感器提供激励信号，同时为解调器提供时钟信号，这种可调性可以抑制传感器的结构变化以及封装给电路的影响。另外，该电路中采用了片上电容阵列，可以抵消差动结构电容的失配导致的不平衡。

差动式可调谐微电容测量电路原理图电路集成芯片采用0.13umcmos技术制造，供电电压为1.8v，能耗约为10mw。测试结果表明，电路能够测量inficon电容式传感器中的飞法级别的电容变化，灵敏度可达到0.3mv/ff，通过调节相关参数，灵敏度可达到1mv/ff。awmini等设计了一种开关电容电路来测量具有差动敏感电容结构的inficon设备的微小电容变化。

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