广州潽拓光电科技有限公司——岛津磁悬浮泵
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分子泵直接清洗的方法如下： 1．关掉分子泵，进行排气。 2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。 3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等 4．拆掉润滑的油包 5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。 6．往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜.
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如果真空泵泵油漏的厉害，就需要更换真空泵的油封（往往是几个密封件），岛津磁悬浮泵tmp2804维修，如果自己可以更换，从真空泵的公司买回相应备件，自行更换，如果自己不会更换，就需将泵发回厂家或找进行维修。
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由于涡轮分子泵是高速旋转的机械，因此轴承是涡轮分子泵的关键部件。涡轮分子泵的轴承有如下几种：
1、油润滑轴承
2、油脂润滑轴承
3、气膜轴承
4、磁悬浮轴承
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