广州inficon英福康真空计保养费用-广州潽拓光电科技

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inficon电容薄膜真空计作为inficon电容式传感器的一种，能够满足深空探测、空气动力学研究、临近空间探索等领域对真空测量仪器测量准确度高、体积小、轻、功耗低的应用需求，具有广泛的应用前景。inficon电容薄膜真空计包含真空规管和测量电路两个部分。其中，真空规管将真空度转化成电容量，测量电路对电容量进行处理得到真空度的值。

inficon电容薄膜真空规管初始电容量的范围为几到几十皮法，其电容变化量为几飞法甚至更小。inficon电容薄膜真空规管的敏感电容具有不同结构，包括单侧电极结构、双侧电极结构以及静电力平衡结构，不同结构的敏感电容其电容变化量不同。另外，inficon电容薄膜真空计要求测量电路功耗低、易集成，考虑到寄生电容和电磁干扰及温度的影响，准确测量inficon电容薄膜真空规管的微小电容是一个难题。

针对不同结构的敏感电容，提出了多种微小电容测量方法。1.单侧电极微小电容测量敏感电容为单侧电极的inficon电容薄膜真空规管结构简单，在inficon制造及封装工艺下易于实现。如图1所示，感压薄膜上的电极与硅基底上的电极组成了一个随真空度变化而变化的敏感电容。由于只存在单一的敏感电容，测量电路中往往需要引入一电容值与敏感电容初值相等的固值参考电容。

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该规管是全金属外壳，通过粗壮的可以热插拔的针脚连接控制器。规管可以单独替换，您也可以用一个控制器去测安装在不同位置的多个规管的读数。套装包含的规管为kf25接口，您还可以另外采购其它接口的规管， 很重要的是，inficon536规管非常的便宜。

迷你手提收纳箱：套装还包括一个带柔软垫层的手提收纳箱，方便运输、携带，非常坚固---。

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