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潽拓——爱德华高真空泵，分子泵

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技术参数：

品牌：edwards                                                        型号：epx twin 180l

入口法兰：iso63                                                     出口法兰：nw25

水接头：3/8 in快速                                                  电源供给：200/208v，50/60hz 三相

电机额度功率:3.0kw                                                  重量：55kg

应用：

epx系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

epxl系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台借口提供控制的清洁工作应用

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主要特性和优势

       占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，epx ---节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。epx 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。

       受zhuanli保护的泵机构 - epx 可以从---压抽空到 uhv 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

          超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。epx 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常--- - epx 具有大约 13 年的 mtbfp (semi e10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

        运转时的噪声低至 56 db(a)，可在洁净室内实现低噪声。