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实验与分析---质谱检漏仪工作在不同的分子泵转速下,在仪器的检漏口连接标漏信号,检测---质谱检漏仪在不同分子泵转速下,所获得的信号值。
实验器材:
(1)---质谱检漏仪sfj-231,1台;
(2)渗---型标准漏孔(3.0×10-10pa.m3/s),1只;
(3)渗---型标准漏孔(1.5×10-pa.m/s),爱发科分子泵utm-150保养,1只;
(4)标准漏孔tl4-6,1只。
实验步骤:
(1)开启---质谱检漏仪;
(2)仪器进入检漏状态运行2h后;
(3)仪器按下停止键,仪器进入待机状态(4)进入仪器的参数设置,将分子泵的转速设定为1500hz;
(5)待仪器进入待机状态
(6)将渗---型标准漏孔(3.0×100pa.mys)连接在检漏口;
(7)检漏仪按开始键,检测仪器的显示值,并记录;
(8)仪器按下停止键后按下开始键,再次检测仪器的显示值,共记录3次数据(9)仪器在待机状态,进入仪器的参数设置,将分子泵的转速设定为1000hz;
(10)重复7、8步骤;
(11)进入仪器的参数设置,将分子泵的转速设定为1500hz;
(12)在仪器检漏口连接渗---型标准漏孔(1.5x10*pa.ms)1只;
(13)重复7、8、9、10步骤(14)进入仪器的参数设置,将分子泵的转速设定为1500hz;
(15)在仪器检漏口连接标准漏孔tl4-6(16)重复7、8、9、10步骤。
(16)重复7、8、9、10步骤。
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磁场屏蔽出现的问题
旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子---,将产生如下问题:、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;、由于---会减弱铝材料的强度,造成碎泵;、转子---,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30gs。原则上,大于30gs应使用导磁材料屏蔽。
分子泵启动的条件:、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度、启动时间:同时启动——小系统,防前级泵油上返。---启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强p=200pa时,启动分子泵。从逆扩散型检漏仪的检漏过程出发,通过实验讨论分子泵转速对---质谱检漏仪检测结果的影响,并分析产生这种结果的原因。
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,爱发科分子泵utm-350价格,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵是获得高真空和真空的关键设备之一。它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短,在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变,对分子量高的气体压缩比高,可以获得清洁无油的高真空和真空环境。
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在纯粹涡轮分子泵的情况下,由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5~10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽,如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏,这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。
隔膜泵作为前级泵的优势
1.外观小巧精致,重量小;
2.表面光滑容易清洁;
3.运行异常安静且振动低;
4.根据客户需要,爱发科分子泵utm-330维修,干式隔膜泵可供选择的---真空和抽气速度;
5.隔膜---,高弹性的纤维增强型fkm隔膜(化学隔膜泵,耐腐蚀的ptfe三明治夹层结构隔膜);
6.内部气路连接件漏率低,长久运行依然能保持优异的真空性能。
螺杆泵作为前级泵的优势
1.100%无油;
2.无易损件;
3.无磨损;
4.抽速大可达10 m3/h,云浮爱发科分子泵,---真空低至0.005 mbar;
5.一键启动,长期7×24 h稳定运行,维护成本低,无烦恼。
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